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第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围

第一千六百六十七章 光刻胶的国产突围 (第1/2页)

“炉温到一百八十,别急着升。”
  
  伊万站在哈尔滨研发中心的炉门旁,手里夹着一块沾满树脂的玻璃片,脸上两天没刮的胡茬扎在灯光下,眼睛盯着记录表,没有去管身后谁在走动。
  
  陈守仁握着秒表。
  
  “第一组胶层已经排气,温度继续上升。”
  
  “继续。”
  
  高桥把一张曲线图推到他面前。
  
  “二百六十度后会起泡。”
  
  “你看过结果?”
  
  “我看过配方。”
  
  “配方不会说话,炉子才会。”
  
  “这一炉用的是松菱原料。”
  
  “你怀疑我的比例?”
  
  高桥把笔搁在桌边。
  
  “我怀疑溶剂。”
  
  方志远从控制台旁抬头。
  
  “二号传感器比三号低了七度,程序已经补偿。”
  
  伊万回头看他。
  
  “别补偿。”
  
  “温度会偏。”
  
  “传感器偏,炉温没偏,程序一补,胶层会提前失水。”
  
  “你确定?”
  
  “你要是不信,等它把晶圆烧黑。”
  
  陈守仁抬手。
  
  “停一秒,先把二号探头换掉。”
  
  “换探头会耽误升温。”
  
  “换探头能知道炉子究竟烧到哪儿。”
  
  伊万把玻璃片贴到灯下。
  
  “你们中国人做材料,胆子小。”
  
  陈守仁把工具箱拉到身边。
  
  “你们苏联人做实验,设备少。”
  
  “设备少,所以每一台都得听话。”
  
  “设备听不听话,取决于谁在操作。”
  
  高桥把手套摘下来,扔到桌上。
  
  “你们要吵出去吵,炉里的片子再撑三十秒就废。”
  
  李山河推门进来,手里带着一只搪瓷缸。
  
  “谁要吵?”
  
  陈守仁转身。
  
  “伊万说高桥配的溶剂会让胶层起泡。”
  
  高桥接话。
  
  “我说他的树脂比例太激进。”
  
  伊万指着炉门。
  
  “这批片子一旦开炉,先看胶层,别看你们的脸。”
  
  彪子跟在李山河身后,抱着两袋面包。
  
  “俺给你们送饭,谁饿了先吃,别把肚子饿坏了拿炉子撒气。”
  
  伊万接过面包,看了看包装。
  
  “里面是什么?”
  
  “列巴。”
  
  “我要二锅头。”
  
  “白天没有。”
  
  “那我不吃。”
  
  李山河把搪瓷缸放到他手边。
  
  “这是热水。”
  
  伊万抬眼。
  
  “你答应过每天一瓶。”
  
  “你昨天喝了两瓶。”
  
  “昨天是昨天。”
  
  “今天你把第一组跑完,晚上给你一瓶。”
  
  伊万指着炉子。
  
  “我要两瓶。”
  
  “合格一瓶,失败半瓶。”
  
  “你把酒当奖励?”
  
  “你把材料当命,我把酒当成本。”
  
  彪子咧嘴。
  
  “二叔,俺咋觉着你俩谈得挺投机。”
  
  李山河看了他一眼。
  
  “你去食堂,把孟老的药膳饮品送给夜班工人。”
  
  “俺也去看芯片。”
  
  “你看不懂。”
  
  “俺看它黑不黑,总能看懂。”
  
  “那你去看黑不黑。”
  
  彪子抱着面包走了,嘴里还在嘀咕。
  
  炉内曲线升到二百四十度,记录笔在纸上划出一条弯线,胶层边缘没有起泡,陈守仁把脸凑近观察窗。
  
  “边缘还在。”
  
  伊万伸手。
  
  “把样片取出来。”
  
  “还没到冷却阶段。”
  
  “取一片。”
  
  高桥用夹具取出样片,放在金属台上,伊万拿起放大镜,刮了一下胶层。
  
  “附着力不够。”
  
  陈守仁接过样片。
  
  “线路没断。”
  
  “冷却后会裂。”
  
  高桥拿起玻璃片折了折。
  
  “裂纹在边缘。”
  
  “那就是溶剂挥发太快。”
  
  “你刚才还说溶剂没问题。”
  
  “我现在改主意了。”
  
  陈守仁把样片递给方志远。
  
  “记录,第一组失败,树脂合格,溶剂比例需要调整。”
  
  伊万看向他。
  
  “你说失败?”
  
  “裂了就是失败。”
  
  “线路还通着。”
  
  “芯片要在设备里跑半年,不是让你拿着样片看半天。”
  
  伊万把玻璃片放下。
  
  “再做。”
  
  “材料只够三组。”
  
  “那就做三组。”
  
  李山河接过记录表。
  
  “材料不够,我已经让宋子文从港岛调一批树脂。”
  
  高桥抬头。
  
  “日本供应商不会发货。”
  
  “没让日本人发。”
  
  “从哪里来?”
  
  “乌法。”
  
  伊万拿过电报纸。
  
  “乌法的军用涂层研究所?”
  
  “谢尔盖耶夫已经把人叫起来了,材料今晚发车。”
  
  “他们没有做过光刻胶。”
  
  “他们做过高温涂层。”
  
  “用途不同。”
  
  “所以才让你们三个一起做。”
  
  陈守仁看着李山河。
  
  “李总,半个月够吗?”
  
  “你要多久?”
  
  “如果材料稳定,三天能出小样,十天能跑封装,半个月能知道能不能量产。”
  
  “那就半个月。”
  
  高桥皱着眉。
  
  “我们每天只睡四个小时。”
  
  “你们每天睡六个小时,剩下时间炉子也不能停。”
  
  伊万抓起记录表。
  
  “我睡三个小时。”
  
  陈守仁抬头。
  
  “没人要求你学牲口。”
  
  “牲口不用做实验。”
  
  “人也不能一直不睡。”
  
  李山河敲了敲桌面。
  
  “每十二小时换班,谁擅自熬夜,第二天停工。”
  
  伊万把表格揉成一团。
  
  “我不接受。”
  
  “那你回北风三号。”
  
  “你赶我?”
  
  “哈尔滨有规矩。”
  
  “规矩会让材料变好吗?”
  
  “规矩能让你活着看到材料变好。”
  
  伊万望着他。
  
  “你和那些官员不一样。”
  
  “少夸我。”
  
  “我没夸你,我在判断。”
  
  “判断完了就去改配方。”
  
  第一周过去,三组材料全部失败。
  
  第一组冷却后裂纹密布,第二组升温时起泡,第三组附着力合格,线路却在二百九十度时断开。
  
  陈守仁把检测报告拍在桌上。
  
  “胶层能撑,线路撑不住,载体材料膨胀系数不匹配。”
  
  高桥接过报告。
  
  “问题回到晶圆底材。”
  
  伊万把一只螺丝拧进反应釜外壳。
  
  “把树脂再改硬,胶层会更脆。”
  
  方志远在黑板上写下几组温度数值。
  
  

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